
下面是噴膠機(jī)的基本功能:
1.可用來(lái)對(duì)各種樣式尺寸的基片進(jìn)行噴膠.較大噴膠尺寸規(guī)定達(dá)到8寸。
2.可對(duì)各種粘度的膠進(jìn)行噴涂,供膠分辨率在15uL之內(nèi)。
3.可對(duì)大深寬長(zhǎng)構(gòu)造進(jìn)行側(cè)壁上膠,取得厚度均衡的膠膜。
4.噴膠均衡性規(guī)定:單片表面≤±15%,片間為≤±10%。
5.計(jì)算機(jī)軟件操縱工藝主要參數(shù)。
6.可手動(dòng)式卸載掉基片。
7.噴膠室容易清洗。
8.供膠流速和流量可編程。
9.供膠回吸量可調(diào)整。
10.適用任何光刻膠和聚合物。
11.具備自動(dòng)針管式膠液供給系統(tǒng),可調(diào)整壓力操縱及測(cè)量膠量,并具備膠液回吸基本功能。
12.基片可對(duì)準(zhǔn)。